ST zet lab-in-a-fab op voor piezo MEMS

"Deze samenwerking zal de acceptatie van piëzo-MEMS-actuatoren in nieuwe toepassingsgebieden versnellen, waaronder MEMS-spiegels voor slimme brillen, AR-headsets en lidarsystemen, PMUT's [piëzo-elektrische microbewerkte ultrasone transducers] voor medische toepassingen en piëzo-koppen voor 3D-printen," volgens ST.

Het publiek-private partnerschap, dat ‘Lab-in-Fab’ gaat heten, bestaat uit een nieuwe cleanroomruimte op de Ang Mo Kio-campus van ST en zal tools en speciale middelen van de drie partijen, waaronder wetenschappers en ingenieurs, hosten. "IME's kennisbasis en industriële drive in het ontwerpen van piëzo-MEMS-apparaten, procesintegratie en systeemintegratie zullen waarde toevoegen aan de ontwikkeling van de lijn", aldus ST. "IME zal ook state-of-the-art tools bijdragen om een ​​soepele productstroom naar de productie te helpen garanderen, allemaal binnen dezelfde locatie."

De fabriek zal naar verwachting de eerste wafers draaien in het tweede kwartaal van 2021, met volumeproductie eind 2022.